更致命的是，钨在〰作为字线金属🙆♂️栅极沉积时，⏲🍒必须额外铺设一🇲🇨🍒层氮化钛（TiN。
六氟化🅾钨是目前唯一🚞可用于化学气相沉。
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更致命的是，钨在〰作为字线金属🙆♂️栅极沉积时，⏲🍒必须额外铺设一🇲🇨🍒层氮化钛（TiN。
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